產品型號︰ | 鈦靶材: 98*45/95*40/128*45/100*40 |
---|---|
產品規格︰ | 98*45/95*40/128*45/100*40 |
產品品牌︰ | YMD |
產品單價︰ | /件 |
供貨總量︰ | |
最小訂量︰ | 1 |
發布時間︰ | 2023-10-20 14:00 |
有效期至︰ | 2024-01-20 |
鈦靶材是一種主要用于物理氣相沉積(PVD)技術的特殊材料,濺射鍍膜是指在真空條件下,利用獲得功能的粒子(如氬離子)轟擊靶材料表面,使靶材表面原子獲得足夠的能量而逃逸的過程稱為濺射。適合于平面鍍,例如︰手機後殼,邊框,板材等。
鈦靶材以純鈦或鈦合金為主要成分,經過精細制造而成。
高致密
熔煉設備技術性改造靶材致密度提升至95-99\%
高純度
特質原材料雜質含量低純度提升至99.99\%min
高精度
精密CNC機加中心公差士0.1mm表面粗糙度32Ra
鈦靶材是通過真空熔煉-熔模鑄造工藝制成的高純鈦或鈦合金板坯材料。它最顯著的特性是高純度和優良的致密性。優質的鈦靶材的致密度可以達到99.5\%以上,且雜質元素極低,如Fe、Si、O、N、H等元素含量均小于100ppm。
此外,鈦靶材還具有卓越的均勻性。在制備過程中,采用了三次熔煉和熱處理,有效改善了鈦靶材的組織均勻性。
鈦靶材主要用途︰
激光濺射:
制備機械部件的表面硬化層,提高抗磨性。
制備生物醫用鈦合金材料的表面涂層,提高生物相容性。
電弧蒸發:
制備太陽能電池的前電極透明導電膜。
制備復合材料的鈦基增強層。
三、鈦靶材的制備方法
冶金法
原理:采用真空電弧冶煉等技術熔煉高純鈦,然後經過多次熔煉淬火、冷軋或鍛造等處理,制成鈦靶材。
工藝流程:選料→熔煉→淬火鍛造→機械加工→檢測
優點:鈦靶材致密度高,純度高,均勻性好。
缺點:工藝復雜,能耗高,成本較高。
純度
高純度鈦靶材(如99.99\%)制備的膜層純度高,性能好。但靶材耗損快,增加運行成本。低純度鈦靶材雖具有成本優勢,但沉積膜的雜質含量高,影響膜層性能。
密度
致密度高的鈦靶材膜層致密性好,附著力強。但密度過高也會使膜內應力增大。適中密度的鈦靶材能獲得性能均衡的膜層。
表面粗糙度
光亮平整的鈦靶材可沉積表面質量更好的膜層。但過度拋光也會導致粒子脫落問題。適度的表面粗糙度有助改善薄膜的附著力。